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七一八所特种气体项目获国家科技重大专项立项
(2013-03-21)    来源:《新奥门蒲京娱乐场》   

      本刊讯(杨庆平 黄亚)近日,由七一八所牵头、联合各相关单位申报的国家科技重大专项——“高纯电子气体研发与产业化”项目正式通过国家专项实施管理办公室批准,获得资金支撑。这是该所在多年连续获得国家火炬计划项目、高技术产业化项目、“863”、“973”计划项目课题后,获得的又一个国家科技重大专项。
    “高纯电子气体研发与产业化”项目由七一八所牵头、联合国家科技重大专项专家及各有关单位共同完成,主要研究开发集成电路制造工艺用特种电子气体制备关键共性技术,形成批量生产能力并建立气体配送与服务体系。
     该项目的研究开发,将进一步促进该所特种气体产业的快速发展,打造新的科技经济增长点,同时对于快速提升我国集成电路产业的核心科技水平和竞争能力,构建支撑我国特种电子气体技术发展的人才团队和研发平台,促进该领域持续快速发展奠定坚实的基础。

 

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